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Plasma-materials interactions

データ種別 図書
出版者 Boston ; Tokyo : Academic Press

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1 . Plasma diagnostics ; v. 2 Surface analysis and interactions / edited by Orlando Auciello, Daniel L. Flamm Boston ; Tokyo : Academic Press , c1989
2 Plasma etching : an introduction / edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm Boston ; Tokyo : Academic Press , c1989

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書誌ID BB50005467
NCID BA0662742X