チョウビサイ カコウ ギジュツ
超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著
(応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース)
| データ種別 | 図書 |
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| 出版者 | 東京 : オーム社 |
| 出版年 | 1997.2 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | xiv,309p ; 22cm |
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| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 利用注記 | 印刷 | 予約 | 本棚を見る |
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| 閲覧室 一般図書 |
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549.8||TO45 | 00001425427 |
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427402332X | 2002 |
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