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Plasma etching : an introduction / edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm
(Plasma-materials interactions)

データ種別 図書
出版者 Boston ; Tokyo : Academic Press
出版年 c1989
本文言語 英語
大きさ xii, 476 p. : ill. ; 24 cm

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中2階書庫(洋書)
427.54||Ma46 00005251155
0124693709

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一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目  Manos, Dennis M.
 Flamm, Daniel L.
件 名 LCSH:Plasma etching
分 類 LCC:TA2020
DC19:621.044
NDC8:427.6
書誌ID BB50006340
ISBN 0124693709
NCID BA07363130
目次/あらすじ

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