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Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg

データ種別 図書
出版者 New York : Wiley
出版年 c1994
本文言語 英語
大きさ xxvi, 572 p. : ill. ; 25 cm

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中2階書庫(洋書)
427.54||L62 00005303726
0471005770

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一般注記 Includes bibliographical references (p. 559-564) and index
"A Wiley-Interscience publication."
著者標目  *Lieberman, M. A. (Michael A.)
 Lichtenberg, Allan J
件 名 LCSH:Plasma dynamics
LCSH:Thin films -- Surfaces  全ての件名で検索
LCSH:Plasma etching
LCSH:Plasma chemistry
分 類 NDC8:427.6
LCC:QC718.5.D9
DC20:530.4/4
書誌ID BB50010079
ISBN 0471005770
NCID BA2405445X
目次/あらすじ

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